| Technische Daten | |
| Messbereiche | 150 x 50 mm |
| 100 x 50 mm | |
| 100 x 100 mm | |
| 280 x 88 mm | |
| Wiederholgenauigkeit | 1?m |
| Auflösung | 0,02 µm |
| Motor | 2-Phasen Schrittmotor |
| max. Verfahrgeschwindigkeit | 40 mm/s mit 1 mm Spindel |
| Belastbarkeit | 500N, 3.000N |
| Oberfläche | T-Nuten oder flach mit Bohrungen |